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濕電子化學(xué)品的質(zhì)檢之路:如何突圍半導(dǎo)體的“納米賽道”

電子級異丙醇

關(guān)鍵詞




半導(dǎo)體制造是一個極其復(fù)雜且精密的過程,涉及數(shù)百道工序,對材料的純度和性能有著近乎苛刻的要求。濕電子化學(xué)品作為半導(dǎo)體制造的 “工業(yè)血液”,其質(zhì)檢水平直接決定芯片良率,尤其在 7nm 以下先進制程中,需達到 G5 級甚至更高純度標準,金屬雜質(zhì)含量低于 0.1ppt、納米級顆粒數(shù)少于1個 /mL。


說到濕電子化學(xué)品就不得不提到電子級異丙醇


電子級異丙醇(Electronic-Grade Isopropyl Alcohol,簡稱 EIPA)作為半導(dǎo)體制造中的 “多功能溶劑”,其核心價值在于高純度、強兼容性、低殘留,通過在清洗、光刻、脫水、剝離等關(guān)鍵工序的應(yīng)用,保障晶圓的潔凈度與圖形精度,能直接影響精密電子元器件(如:芯片、液晶、磁頭)的性能與良率。




半導(dǎo)體級 EIPA 與工業(yè)級異丙醇的核心差異在于 純度控制  雜質(zhì)限制 


雜質(zhì)問題

近年來半導(dǎo)體市場需求快速增長,對作為清潔劑使用的EIPA純度要求也越來越高,不管是原料制造商還是下游用戶入廠質(zhì)檢都有嚴格的品控,每一批次的EIPA都要經(jīng)過幾輪入廠質(zhì)檢才能投入使用。


在檢測 EIPA 純度時,由于電子級異丙醇對雜質(zhì)含量要求極高,雜質(zhì)濃度往往處于極低水平,這使得檢測時產(chǎn)生的信號極其微弱,除此之外,在整個分析過程,對雜質(zhì)控制的要求也非常高,避免在分析的任何一個環(huán)節(jié)引入新的雜質(zhì)。




因此,質(zhì)檢中如何”放大雜質(zhì)的檢測信號””避免引入雜質(zhì)”成為了質(zhì)檢中非常關(guān)鍵的一環(huán)。


TEGENT

Genevac Rocket Synergy2




產(chǎn)


Genevac Rocket Synergy2是一款專門為大體積樣品濃縮的快速溶劑蒸發(fā)系統(tǒng),在半導(dǎo)體應(yīng)用中對大體積的EIPA進行濃縮,用以放大溶劑內(nèi)的雜質(zhì)信號。


作為Genevac溶劑蒸發(fā)系列產(chǎn)品中的明星產(chǎn)品,其主要有以下亮點:

1

Rocket Synergy2采用特殊的水蒸氣加熱方式,比普通加熱方式要快5倍,其濃縮速度非??欤?/span>

2

可實現(xiàn)多樣品的平行蒸發(fā),可同時蒸發(fā)6×450ml燒瓶或18個ASE管,最大可處理5L;




3

樣品自動轉(zhuǎn)移:搭配SG套裝,直接將濃縮后的微量樣品收集到GC進樣小瓶中,避免二次轉(zhuǎn)移,避免轉(zhuǎn)移帶入新的雜質(zhì)干擾結(jié)果,保證樣品的完整性,使得后續(xù)進入分析設(shè)備檢測出更準確的數(shù)據(jù);




4

采用Dri-pure技術(shù)防爆沸,防止交叉污染;




5

自動停機功能,當樣品干燥完成后,蒸發(fā)自動停止,無需人員值守。


如果想了解上述產(chǎn)品更多性能參數(shù),可隨時聯(lián)系德祥科技撥打熱線400-006-9696,或點擊下方鏈接填寫表單咨詢。


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Genevac


ATS集團是德祥集團資深合作伙伴之一。英國Genevac公司成立于1990年,隸屬ATS SP Scientific旗下,一直專注于研究和生產(chǎn)各種離心蒸發(fā)濃縮設(shè)備,其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、制藥、化學(xué)、分析等領(lǐng)域。


德祥科技


德祥科技有限公司成立于1992年,總部位于中國香港特別行政區(qū),分別在越南、廣州、上海、北京設(shè)立分公司。主要服務(wù)于大中華區(qū)和亞太地區(qū)——在亞太地區(qū)有27個辦事處和銷售網(wǎng)點,5個維修中心和2個樣機實驗室。


30多年來,德祥一直深耕于科學(xué)儀器行業(yè),主營產(chǎn)品有實驗室分析儀器、工業(yè)檢測儀器及過程控制設(shè)備,致力于為新老客戶提供更完善的解決方案。公司業(yè)務(wù)包含儀器代理,維修售后,實驗室咨詢與規(guī)劃,CRO凍干工藝開發(fā)服務(wù)以及自主產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、售后。與高校、科研院所、政府機構(gòu)、檢驗機構(gòu)及知名企業(yè)保持密切合作,服務(wù)客戶覆蓋制藥、醫(yī)療、商業(yè)實驗室、工業(yè)、環(huán)保、石化、食品飲料和電子等各個行業(yè)及領(lǐng)域。


2009至2021年間,德祥先后榮獲了“最具影響力經(jīng)銷商”、“年度最佳代理商“、”年度最高銷售獎“等殊榮。我們始終秉承誠信經(jīng)營的理念,致力于成為優(yōu)秀的科學(xué)儀器供應(yīng)商,為此我們從未停止前進的腳步。


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